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石墨舟皿的应用场景
硬质合金烧结
中心功能:作为氢气脱胶和真空烧结工艺的专用容器,承载硬质合金坯体(如切削刀具、矿山工具等)。
技术适配:
耐受1600-2200℃的复原性气氛(如氢气、真空),保证烧结过程安稳。
通过W型双向斜槽规划,使硬质合金长条薄片产品受热均匀,温差波动≤3℃,防止翘曲变形。
棱角保护槽将产品与锐边接触转为平面接触,边角破损率从传统结构的5.2%降至0.8%。
支撑最大单件长度1200mm的硬质合金坯体承载,适配异形件的可调理固定需求(如最小截面5mm×5mm产品)。
半导体制作
高温炉管与加热器:
在晶圆制作、集成电路制作中,石墨舟皿作为高温炉管的中心部件,耐受2800℃慵懒环境,远超金属(如钼的1600℃)和陶瓷资料。
供给均匀热场,电阻率低且随温度改变小,完结精准控温(±1℃),适用于精细陶瓷-金属复合资料的共烧。
晶圆传输系统:
在12英寸晶圆ALD(原子层堆积)设备中,满意NAS 1638 Class 3级洁净度标准(每立方米>0.5μm颗粒<1000个),定位精度差错≤±0.005mm。
电池片镀膜与烧结:
在PERC电池片的银浆烧结工序中,石墨舟皿需在5分钟内完结室温→800℃→冷却的剧烈温变,外表温差<±2℃(传统载具±15℃),碎片率从0.5%降至0.02%,单次工艺能耗降低18%。
多晶硅太阳能电池:
作为等离子体增强化学气相堆积工艺的载具,耐受高温和化学腐蚀,保证硅片镀膜均匀性。
锂电池制作
电极资料制备:
石墨舟皿用于承载正负极资料,其优异的导电性能(热导率高达120W/(m·K))促进热量均匀分布,提高资料烧结质量。
金属粉末熔炼:
高纯石墨(灰分含量<50ppm)防止杂质污染,适用于半导体封装用焊料的熔炼。
化学反响设备
催化反响载体:
石墨舟皿的化学安稳性使其成为承载反响物的理想容器,尤其在复原性气体环境中不发生反响,延长使用寿命。
硬质合金烧结
中心功能:作为氢气脱胶和真空烧结工艺的专用容器,承载硬质合金坯体(如切削刀具、矿山工具等)。
技术适配:
耐受1600-2200℃的复原性气氛(如氢气、真空),保证烧结过程安稳。
通过W型双向斜槽规划,使硬质合金长条薄片产品受热均匀,温差波动≤3℃,防止翘曲变形。
棱角保护槽将产品与锐边接触转为平面接触,边角破损率从传统结构的5.2%降至0.8%。
支撑最大单件长度1200mm的硬质合金坯体承载,适配异形件的可调理固定需求(如最小截面5mm×5mm产品)。
半导体制作
高温炉管与加热器:
在晶圆制作、集成电路制作中,石墨舟皿作为高温炉管的中心部件,耐受2800℃慵懒环境,远超金属(如钼的1600℃)和陶瓷资料。
供给均匀热场,电阻率低且随温度改变小,完结精准控温(±1℃),适用于精细陶瓷-金属复合资料的共烧。
晶圆传输系统:
在12英寸晶圆ALD(原子层堆积)设备中,满意NAS 1638 Class 3级洁净度标准(每立方米>0.5μm颗粒<1000个),定位精度差错≤±0.005mm。
电池片镀膜与烧结:
在PERC电池片的银浆烧结工序中,石墨舟皿需在5分钟内完结室温→800℃→冷却的剧烈温变,外表温差<±2℃(传统载具±15℃),碎片率从0.5%降至0.02%,单次工艺能耗降低18%。
多晶硅太阳能电池:
作为等离子体增强化学气相堆积工艺的载具,耐受高温和化学腐蚀,保证硅片镀膜均匀性。
锂电池制作
电极资料制备:
石墨舟皿用于承载正负极资料,其优异的导电性能(热导率高达120W/(m·K))促进热量均匀分布,提高资料烧结质量。
金属粉末熔炼:
高纯石墨(灰分含量<50ppm)防止杂质污染,适用于半导体封装用焊料的熔炼。
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催化反响载体:
石墨舟皿的化学安稳性使其成为承载反响物的理想容器,尤其在复原性气体环境中不发生反响,延长使用寿命。

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